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Herz-UT-1000A 主动式减震台

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Herz主动式减震系统UT-1000A



Herz-UT-1000A 主动式减震台(图1)


      UT-1000A平台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能(从0.5Hz开始)。UT-1000A平台通过消除,干扰测量的破坏 性低频振动噪声,帮助用户从显微镜中获得更多信息。UT-1000A平台采用了超薄型和模块化设计,简化了安装过程,从而在安装时不需要为大多数仪器安装专用的起重设备(这个方案适合绝大数的EMs)。


AVI系列的内部技术:压电传感器与驱动器

功能:

  • 主动减震范围 1 to 200 Hz (搭配LFS 系统由0.5Hz开始)

  • 被动减震模式 ≥200 Hz

  • 隔离来自六个自由度的振动

  • 无低频共振

  • 先进的压电传感器和驱动器

  • 内部反馈回路阻尼谐振


设计及维护:

  • 紧凑,模块化的设计

  • 安装方便,无需持久维护 安装后基本不改变显微镜的整体轮廓 为每台电镜做单一的定制


热门应用

Herz-UT-1000A平台广泛的应用于高负载显微镜和其他对低频振动噪声敏感的精密型研究仪器。Herz-UT-1000A平台最常见的应用是电子显微镜,它支持扫描电子显微镜和透射电子显微镜,获得了业界一致的认同。世界各地的终端用户和OEM厂商们发现,相对于竞争者解决方案,Herz-UT-1000A平台的扁平化模块设计是有利的,因为它简化了安装过程,消除了持续维护的必要。


  • Herz-UT-1000A 平台广泛应用于SEMs & TEMs

  • 超高真空扫描探针显微镜 (UHV-SPM)

  • 光刻设备 高精度计量设备 光谱测量设备 And More!


UT-1000A Supporting A FEI Titan TEM

Herz-UT-1000A 主动式减震台(图2)

      由于UT-1000A平台的模块化设计,重3500公斤的Titan可以由四个减震 模块来支持。这幅图像描绘了一个由UT-1000A平台支持的FEI Titan TEM,它以前受到低频振动噪声的干扰。现在,在进行高倍率扫描时,已经是得心应手


UT-1000A Supporting A FEI QEMSCAN 650 SEM

Herz-UT-1000A 主动式减震台(图3)

     

UT-1000A平台通常对与扫描电子显微镜搭配,扫描电子显微镜有多种尺寸和形状。UT-1000A平台的显著优点是,它们不需要专业的吊装设备或索具系统进行安装,只需要SEMs内部调平脚升高到足够高(5英寸)就可以将防振模块放置在下面。由上幅图像可以看到,一 台FEI QEMSCAN 650 SEM,被快速安装在直接支撑SEM框架的UT-1000A平台上。安装后,SEM很快开始从测量中获得更高的分辨率。


UT-1000A Supporting A Carl Zeiss SIGMA VP SEM

Herz-UT-1000A 主动式减震台(图4)

Carl Zeiss scanning electron microscopes 最常用的减震方案是搭配UT-1000A. 由于其设计一,内部框架易于使用,UT-1000A平台可以在一小时内安装,不需要吊装设备。上图显示的是Carl Zeiss SIGMA VP 在与UT-1000A 平台的搭配.



Herz-UT-1000A 主动式减震台(图5)







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