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Herz-UT-1200A主动式减震平台

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概述

UT-1200A平台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主 动隔振性能(从0.5Hz开始)。UT-1200A平台通过消除,干扰测量的破坏 性低频振动噪声,帮助用户从显微镜中获得更多信息。UT-1200A平台 采用了超薄型和模块化设计,简化了安装过程,从而在安装时不需要 为大多数仪器安装专用的起重设备(这个方案适合绝大数的EMs)。

产品特点 

- 主动减震范围 1 to 200 Hz (搭配LFS 系统由0.5Hz开始) 

- 被动减震模式 ≥200 Hz 

- 隔离来自六个自由度的振动

- 无低频共振 

- 先进的压电传感器和驱动器 

- 内部反馈回路阻尼谐振

- 紧凑,模块化的设计

- 安装方便,无需持久维护 

- 安装后基本不改变显微镜的整体轮廓 

- 为每台电镜做单一的定制

- And More!


热门应用 

Herz-UT-1200A平台广泛的应用于高负载显微镜和其他对低频振动噪声敏感的精密型研究仪器。

Herz-UT-1000A平台最常见的应用是电子显微镜,它支持扫描电子显微镜和透射电子显微镜,获得了业界一致的认同。

世界各地的终端用户和OEM厂商们发现,相对于竞争者解决方案,Herz-UT-1200A平台的扁平化模块设计是有利的,因为它简化了安装过程,消除了持续维护的必要。

Herz-UT-1200A 平台广泛应用于

- SEMs & TEMs

- 超高真空扫描探针显微镜 (UHV-SPM)

- 光刻设备 

- 高精度计量设备 

- 光谱测量设备

- And More!


性能 

传递率曲线图表示的是UT-1200A系列在频率内的隔振性能。

性能数据代表所有传递振动模式(空间六个自由度), 可作为客户将仪器与UT-1200A平台配对时,保守估计的性能。

性能升级- LFS System UT-1200A系列与LFS系统(低频传感器)配套使用,可提高其低频隔振性能。

这次升级使平台能够隔离0.5 Hz开始的振动,并且可以很容易地为现场现有系统进行改造。有关升级后的性能的更多细节可以在下面介绍中找到。


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