导读：精密仪器（SEM、TEM、AFM、光刻机、纳米压痕仪等）对环境微振动极其敏感。以下汇总了十个最常见问题，一次为您解答。

Q1：什么情况下需要主动减振，什么情况下被动减振就够了？

A： 取决于设备对振动的敏感度以及环境振动的频率分布。

• 被动气浮减振：适用对5Hz以上振动敏感的设备，且环境振动较稳定。典型固有频率1.5–3Hz。代表产品：Mount Stable HS华山系列。

• 主动减振：适用对1Hz以下超低频振动敏感的设备，或环境振动复杂多变。隔振频率0.5–200Hz全主动隔离。代表产品：HERZ AVI-600、KURATECA EST-L。

简单判断：如果您的设备在夜间或周末工作正常，但白天人多时出现问题，大概率需要主动减振。

相关产品：HS华山系列 、AVI-600  

Q2：主动减振系统是如何工作的？

A： 主动减振系统通过“感知—计算—反馈”三个步骤持续工作：

1. 感知：内置高灵敏度压电加速度传感器，实时监测平台振动信号。

2. 计算：控制器分析振动信号，判断哪些是“需要消除的干扰振动”。

3. 反馈：音圈电机或压电执行器产生反向抵消力，将振动“抵消”掉。

形象比喻：就像主动降噪耳机，实时监测噪声并发出反向声波抵消它。主动减振台也是同样的原理，只是针对的是物理振动而非声音。

相关产品：AVI系列 、TS系列

Q3：我的 TEM 已经安装在气浮台上了，为什么还需要主动减振？

A： 传统气浮台（如HS华山系列）的固有频率通常在1.5–3Hz，对于高于3Hz的振动有不错的隔离效果。但对于1–3Hz的超低频振动，气浮台不仅无法隔离，甚至可能放大共振。

主动减振系统（如HERZ AVI系列）启动隔振频率可低至0.5–1Hz，完美覆盖气浮台的“盲区”。因此，气浮台 + 主动减振模块的组合往往是最佳方案：气浮台负责中高频，主动系统填补低频缺口。

Q4：主动减振系统的功耗大吗？

A： 非常小。以HERZ产品为例：

• AVI-200 LP：典型功耗 <7W，最大9W

• AVI-400 LP：典型功耗 <11W，最大15W

• AVI-600：典型功耗 27W

长期运行的耗电量甚至低于一盏LED灯泡，完全不用担心电费问题。

相关产品：AVI-200 、AVI-400  、AVI-600 

Q5：隔音箱和减振台，我要选哪个？

A： 两者解决的问题不同，经常需要组合使用：

• 减振台：解决物理振动（地面传导），安装在设备底座下方。适用场景：受脚步声、卡车经过、空调振动等影响。

• 隔音箱：解决空气噪声（声波传导），罩在设备外围。适用场景：受人声、设备风扇声等影响。

如果两者都有，建议减振台 + 隔音箱组合

Q6：我的设备只有 50 kg，适合用哪种减振方案？

A： 对于中小负载设备，推荐以下方案：

• < 50 kg：桌上型主动隔振台，如HERZ TS-150（最大负载150kg，尺寸400×450mm）

• 50–140 kg：中型桌上型，如HERZ TS-140（最大负载140kg，500×600mm台面）

• 100–200 kg：紧凑型主动模块，如KURATECA EST-58-450（最大120kg）

• 200–750 kg：主动减振模组，如KURATECA EST-L系列（模块化组合）

TS-150和TS-140都是即插即用的桌上型主动隔振台，自带台面和减振模块，开箱即可使用。

Q7：为什么减振台安装后设备反而晃得更厉害了？

A： 通常是因为共振问题：

• 被动气浮台：负载过轻或气压调节不当，系统固有频率与激励频率重合产生共振。

• 主动减振台：传感器信号异常或安装不水平，系统误判正常振动为干扰进行反相补偿，反而放大了振动。

解决方法：

1. 确保负载在额定范围内。

2. 使用手动调平阀或自动调平功能确保水平。

3. 主动减振系统启动后，等待30秒自校准时间。

Mount Stable提供免费上门安装调试服务，专业工程师会使用振动分析仪进行系统调优。

Q8：安装主动减振系统后还需要其他防振措施吗？

A： 主动减振系统主要解决设备底座的垂直和水平振动。此外还需要注意：

• ✅ 设备周围避免大型管道共振。

• ✅ 使用柔性管接头连接设备的冷却水管/气管。

• ✅ 地面承重能力满足设备要求。

• ⚠️ 如果设备放置在高层建筑，建议配合建筑结构减振综合考虑。

Q9：Mount Stable 能提供哪些服务？

A： 我们提供从咨询到运维的全生命周期服务：

• ① 现场勘查：使用振动分析仪进行24小时地面振动频谱测量，识别主要振动源。

• ② 方案设计：根据设备参数、环境条件，定制最优减振方案。

• ③ 安装调试：专业工程师安装，系统调优，效果验证。

• ④ 效果检测：提供安装前后振动数据对比报告。

• ⑤ 售后运维：定期巡检、校准、远程技术支持。

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