新闻资讯
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电镜受磁场干扰的表现与主动消磁器选型
交流磁场让图像扭曲缩放、直流磁场让图像漂移，两种表现容易与振动混淆。本文给出电镜磁场限值的单位口径与来源、工作距离判别法、三轴测量的测点与时段，以及主动消磁器按频段、残余场、覆盖空间选型的依据。了解更多 -
六自由度隔振对精密成像的实际意义
从 VC 曲线的平动判据讲到转动分量的力臂放大，说明六个自由度各自对应什么图像表现、转动限值怎么用两点差分推算、现场怎么测与判达标，以及超标后主动模块与气浮平台按频段怎么分工。了解更多 -
日立 SU8600 冷场发射模式的成像稳定性要求
冷场发射源的源直径约 5 nm、能量发散 0.2 至 0.3 eV，1 kV 下仍标称 0.7 nm。本文说明这类机型的成像稳定性为什么对低频位移敏感、日立按频率给出的容许振幅怎么读、与 VC 曲线如何并用，以及隔振配置的取舍。了解更多 -
赛默飞 Apreo 2 的安装环境要求里，振动这一项怎么看
Apreo 2 的安装条件表里，地面振动与声学两项只写「需做场地调查」，不给数值。本文说明这一项该怎么读、场地报告里该看哪几项、同一型号在不同项目限值不同的原因，以及把它落成场地条件的三步顺序。了解更多 -
电子束光刻的套刻精度对振动的敏感度
振动在 EBL 套刻误差里占哪一份，取决于频段与单场曝光时间的对应关系。本文说明 VC-E 的速度限值如何折算成位移、为什么它对纳米套刻偏松，以及测点、指标与工程做法的顺序。了解更多
