按《建筑结构荷载规范》GB 50009-2012 表 5.1.1,试验室一类房间的楼面均布活荷载标准值取 2.0 kN/m²,约合 200 kg/m²。而一台需要隔振的精密设备连同隔振平台,重量常在 1 至 3 吨之间,落地面积却只有一两个平方米。
同时进场条件还常常限制锚固。楼面是洁净室的环氧自流平地坪,或者楼板上有防水、屏蔽构造层,再或者场地是租来的,退场要恢复原状,地脚螺栓就打不下去。
锚固在隔振方案里承担的工作不只是固定。它同时提供水平抗滑、抗倾覆与位置稳定三项功能,还常与抗震约束一起做。去掉锚固,这三项要由别的机制接手,方案必须在这几处重新核算。
处理顺序可以按三步走:先算清载荷与重心,再决定荷载用什么方式交给楼板,最后按设备要求的频段选隔振方式。设备自身的振动要求怎么定,可以先做一次场地与振源自查,方法见实验室楼板振动自查方法。
第一项是约束水平位移。设备运行时存在水平方向的振动力,检修时的推拉、台面上移动部件带来的反作用力,都会在支承面上形成水平荷载。锚栓把平台与楼板连成一体,这部分力直接传进结构。
第二项是提供抗倾覆能力。设备重心高、支承面窄时,水平力会产生倾覆力矩,锚栓的抗拔承载力与结构自重共同平衡它。
第三项是维持位置与调平状态。气浮平台与主动隔振模块都有水平方向的定位要求,整体一旦滑移,台面水平度与传感器零点都要重新调整。
第四项与抗震有关。大型精密仪器的地震约束通常要求平台与楼板之间有可靠连接,约束件本身就是按锚固条件设计的。
水平抗滑改由自重提供的摩擦抗力接手。可用的抗力等于支承面法向力乘以接触面的静摩擦系数,因此要么加质量,要么改善接触状态。摩擦系数受接触材料与表面清洁状况影响明显,油污、积水与粉尘都会让它下降,这项能力需要定期检查。
抗倾覆靠压载解决。总质量增加后摩擦抗力提高,重心下降后抗倾覆力矩增大,压载同时改善这两项。若把配重做成底板形式,重心下降的幅度更明显。
位置稳定与抗震改由侧向限位承担。限位块设置在平台四周或长边中部,与平台之间留间隙,间隙内填弹性块。限位件自身与楼板的固定方式同样受限制,可以做成配重式。
核心变化: 不做锚固不是降低要求,而是把原本由螺栓承担的水平力与倾覆力矩,转由自重、接触面与限位件分担,每一项都要单独核算。
| 地面或楼面条件 | 不宜打孔的原因 | 对方案的影响 |
|---|---|---|
| 洁净室环氧或防静电地坪 | 面层完整性与颗粒控制要求高,孔洞与修补痕迹影响洁净度与静电性能 | 支承面做保护衬垫,荷载不穿透面层 |
| 防水、防辐射、电磁屏蔽构造层 | 穿透后构造功能失效,修补代价高 | 荷载全部走构造层以上,必要时先做局部构造加强 |
| 后张法预应力楼板、楼板内埋管 | 钻孔可能伤及预应力筋或管线,位置难以事先确认 | 先查图纸并现场探测,确认安全区后再考虑锚固 |
| 架空地板(活动地板) | 面板与支撑腿不是为集中重载设计的 | 重设备落到结构楼板上,或对支撑腿与周边做补强 |
| 租赁场地、共享实验室 | 退场恢复条款约束 | 优先选可整体移位的方案 |
来源:各类构造的限制依据相应地面做法与结构做法的通行要求。具体项目的可操作性以原设计图纸为准。
| 组成 | 取值方式 | 容易漏掉的部分 |
|---|---|---|
| 设备本体 | 设备铭牌或厂家资料 | 附件重量:真空泵、液氮罐、冷却水路、外接电源柜 |
| 隔振平台或模块 | 厂家资料 | 台面自重随厚度增加,100mm 厚约 120 kg/m²,200mm 厚约 140 kg/m²,300mm 厚约 167 kg/m² |
| 配重与惰性块 | 按抗滑与抗倾覆需要反算 | 配重也要占楼板承载与净高 |
| 动载荷与偏心 | 按实际使用工况估 | 移动部件在行程两端带来的重心偏移 |
来源:台面自重与负载能力取自 UNICORN HS 华山系列、GS 冈山系列气浮隔振平台的产品资料。
GB 50009-2012 表 5.1.1 给出的 2.0 kN/m² 是按房间用途定的设计均布值。均布荷载由整块楼板与梁共同承担,设备进场属于集中荷载与局部荷载,两者的传力路径不同,集中荷载主要由局部支承点及其附近的梁位承担。
复核依据: 能否承载以原设计图纸与结构专业复核为准,不要按经验值套算。降低局部压强的做法是增加支承点数量、加大承压面积,把荷载分散到更多板格与梁位,支承点尽量落在墙、梁或柱附近。
需要三个量:总质量、重心高度、支承面在水平力方向的宽度。重心越高、支承面越窄,同样的水平力产生的倾覆力矩越大。
设备自带的移动部件要单独核算。可升降台面、移动样品台在行程两端时重心位置不同,限位块与配重的方案要按最不利的那个位置校核。
做法是在隔振模块下方加一块钢制配重底板,设备与平台整体落在底板上,底板与楼面之间垫高摩擦衬垫。荷载通过底板与衬垫传给楼板,水平力由接触面的摩擦力平衡。
限制条件: 摩擦抗力依赖接触状态,油污、积水、粉尘与衬垫老化都会降低摩擦系数。抗滑能力要按最不利水平力核算并留出储备,投用后定期检查底板是否位移、衬垫是否老化、接触面是否清洁。
承重底板的作用是把单点荷载变成分布荷载。底板刚度足够时,荷载通过底板传到多个支承点,再由支承点传给楼板,局部压强随支承面积的增大而下降。底板厚度与加劲方式按总重和支承跨度确定,支承点位置尽量与楼板的梁位对齐。
侧向限位块装在平台四角或长边中部,与平台之间留出间隙并填弹性块,靠间隙内的弹性件吸收水平位移,不把平台与建筑结构刚性连起来。
关键提醒: 任何与建筑结构的刚性接触都会形成新的振动传递路径。设备间与实验室上下相邻的场景里,刚性旁路是常见的处理遗漏项,可以对照设备间在楼上时三条传递路径的处理顺序逐项检查。
活动地板由面板与可调支撑腿组成,其设计荷载是为人员与轻载设备准备的,面板与支撑腿都不是为集中重载设计的。重型设备要落到结构楼板上,荷载路径中间不能断开。
仪器台面需要与架空地板同高时,可以用支撑架一类配件把台面抬起来,同时由支撑架把荷载传给结构楼板。这类配件在洁净室与地下层实验室的新设备布置中较为常见。
被动隔振方案的固有频率标称值在 1.5 至 3Hz 之间,同负载与实际使用情况相关;按传递率关系推算,有效隔振起点约在固有频率的 1.41 倍处,即 2 至 4Hz。气浮平台的承载按型号分档,支架负载能力分 600kg、1300kg、1950kg 三档,台面自重随厚度增加,三层夹心蜂窝结构的台面加支架总高度为 800mm。
主动隔振方案的隔振起点由控制器带宽与执行器能力决定。以 HERZ AVI 系列为例,AVI-400 的隔振起始频率为 0.5Hz,系统负载能力 0 至 800kg;AVI-600 标准配置为 1Hz,选配 LFS 前馈系统后为 0.5Hz,负载能力 0 至 1200kg,可扩展至 1680kg。
| 频段 | 适合方式 | 原因 |
|---|---|---|
| 1Hz 以下的超低频 | 主动隔振 | 被动方案受固有频率限制,此频段难以有效衰减 |
| 1 到 10Hz 的低频 | 主动隔振 | 处在被动方案固有频率附近,会被放大 |
| 10Hz 以上的中高频 | 被动隔振 | 已过共振区,隔振效率高且无需供电 |
| 全频段 | 主动加被动组合 | 主动负责低频,被动负责中高频与承载 |
两类方案的频段边界与判断依据见主动隔振与被动隔振的边界。
选型口径: 加配重会改变系统总质量,选型要按含配重的总重计算,不能只按设备自重。负载明显偏离中心或超出所选型号分档时,可以用外接承载弹簧补充承载能力,每个承载弹簧提供 40kg 额外负载能力。
不打孔的方案通常要在原隔振方案上再加配重底板或承重底板,高度会多出一层,进场前要把净高、通行与吊装通道一并核算。
| 组成 | 高度 | 说明 |
|---|---|---|
| 主动隔振模块 AVI-400 | 整体升高小于 13cm | 无需压缩空气,模块化结构支持抽屉式更换 |
| 主动减震台 LS-800 | 130mm | 载荷由台面承担,台面尺寸分三档 |
| 气浮隔振平台 | 整体 800mm,总高度可调 −10 至 +15mm | 分支架与台面两部分,支架带脚轮 |
| 配重底板、承重底板与支撑架 | 按设计厚度 | 与净高、门洞、吊装通道一并核算 |
来源:高度数据取自 HERZ AVI 系列与 UNICORN HS、GS 系列的产品资料。
主动隔振模块需要供电。AVI-400 的控制器功率为 15W,AVI-600 的控制器功率为 28W,输入电压均为 100-120 / 200-240VAC。
气浮隔振平台需要气源,标配静音无油空气压缩机,工作压力 3 至 7 kg/cm²,气浮支撑为半膜片式空气弹簧,支撑腿内部还有二级气室。
进场前落实: 免锚固方案改造过的现场,往往没有预留电源与气源点。这两项要在设备进场前确定位置,走线与走管同样要避开不能破坏的地面做法。
| 误区 | 事实 |
|---|---|
| 不能打孔就只能将就 | 与楼板脱开的支承方式本来就有,需要另行核算抗滑与抗倾覆,不是放弃精度要求 |
| 配重只是把设备压住不倒 | 配重同时改变系统总质量与固有频率,选型要按含配重的总重重新计算 |
| 侧向限位顶得越紧越稳 | 刚性顶死会形成新的振动传递路径,限位应留间隙或加弹性垫 |
| 楼面活荷载 2.0 kN/m² 够用就不必复核 | 那是按房间用途给的设计均布值,集中荷载要按结构专业复核 |
| 架空地板下面就是结构楼板,放上去即可 | 荷载要真正传到结构楼板,中间的支撑腿与面板需要确认承载路径 |
问:地面不能打孔,隔振台会不会自己移动?
答:不会自行移动,但水平抗力完全由自重提供的摩擦承担。摩擦抗力等于法向力乘以接触面的静摩擦系数,接触面上的油污、积水与粉尘会明显降低这个系数。这类方案要按最不利水平力核算并留出储备,投用后定期检查是否出现位移。
问:配重块要加多少?
答:没有固定值,取决于两个约束:水平抗滑需要的摩擦储备,以及抗倾覆需要的稳定力矩。两个约束分别算出需求,取较大者,再核对楼板承载与净高是否允许。配重本身也是荷载,不能只按抗滑算完就定。
问:楼面活荷载 2.0 kN/m² 这个值怎么用?
答:《建筑结构荷载规范》GB 50009-2012 表 5.1.1 给出的试验室一类房间楼面均布活荷载标准值为 2.0 kN/m²,约合 200 kg/m²。这是按房间用途定的设计均布值,设备进场属于集中荷载与局部荷载,传力路径不同,能否承受要以原设计图纸与结构专业复核为准。
问:加配重会不会影响隔振效果?
答:会影响。配重增加系统总质量,被动方案的固有频率随质量增加而下降,主动方案的负载分档也要重新核对。按含配重的总重选型,落在所选型号的负载区间内即可;超出现有分档或负载明显偏心时,可用外接承载弹簧补充承载能力。
问:架空地板上能不能直接放重型设备?
答:不建议。活动地板的面板与可调支撑腿不是为集中重载设计的。可行做法是把重设备落到结构楼板上,或者用支撑架把仪器台面抬到与地板同高,同时由支撑架把荷载传给结构楼板。
顺序上还是三步:先算载荷与重心,再决定荷载用什么方式交给楼板,最后按频段选隔振方式。判断的起点是设备自身的振动要求,厂家给出的安装条件文件里通常有容许振动值,设备文件没有明确数值时,可参照 GB 50868-2013 中对应设备类别的容许值。不同设备的严格程度差别不小,透射电镜与扫描电镜在振动要求上的差别里给了对比。
网站的产品页里有各系列隔振模块与气浮平台的参数、负载分档与配件清单,案例页里有不同场景的交付记录,可以按频段与设备类型对照查看。
《建筑结构荷载规范》GB 50009-2012。(表 5.1.1 民用建筑楼面均布活荷载标准值及组合值、频遇值、准永久值系数)
《建筑工程容许振动标准》GB 50868-2013。(显微镜的容许振动值表)
《工程隔振设计标准》GB 50463-2019。(隔振体系固有频率与干扰频率的关系、阻尼比取值)
IEST-RP-CC012.2, Considerations in Cleanroom Design. Institute of Environmental Sciences and Technology.(VC 曲线限值)
Rao, S. S. Mechanical Vibrations, 6th ed., Pearson.(单自由度隔振理论与传递率)
产品资料:HERZ AVI 系列主动隔振模块、UNICORN HS 华山系列与 GS 冈山系列气浮隔振平台。(负载能力、台面自重、整体高度与气源要求)
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