技术新闻
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隔振系统的日常检查：哪些指标会随时间退化
隔振退化不发告警，只能靠记录发现。本文给出四项可测指标（台面高度与水平、气源压力与保压时间、传递率、控制器状态）、空气弹簧与主动模块各自的退化项与首查位置、传感器 12 至 24 个月的复校依据，以及维护与更换的判断顺序。了解更多 -
电镜受磁场干扰的表现与主动消磁器选型
交流磁场让图像扭曲缩放、直流磁场让图像漂移，两种表现容易与振动混淆。本文给出电镜磁场限值的单位口径与来源、工作距离判别法、三轴测量的测点与时段，以及主动消磁器按频段、残余场、覆盖空间选型的依据。了解更多 -
六自由度隔振对精密成像的实际意义
从 VC 曲线的平动判据讲到转动分量的力臂放大，说明六个自由度各自对应什么图像表现、转动限值怎么用两点差分推算、现场怎么测与判达标，以及超标后主动模块与气浮平台按频段怎么分工。了解更多 -
日立 SU8600 冷场发射模式的成像稳定性要求
冷场发射源的源直径约 5 nm、能量发散 0.2 至 0.3 eV，1 kV 下仍标称 0.7 nm。本文说明这类机型的成像稳定性为什么对低频位移敏感、日立按频率给出的容许振幅怎么读、与 VC 曲线如何并用，以及隔振配置的取舍。了解更多 -
赛默飞 Apreo 2 的安装环境要求里，振动这一项怎么看
Apreo 2 的安装条件表里，地面振动与声学两项只写「需做场地调查」，不给数值。本文说明这一项该怎么读、场地报告里该看哪几项、同一型号在不同项目限值不同的原因，以及把它落成场地条件的三步顺序。了解更多
