哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,其材料科学研究位列全球前0.1%行列,主要针对水处理及水薄膜领域开展前沿研究。该研究室拥有一台ZEISS Sigma-500场发射扫描电子显微镜(SEM),用于高品质成像与高级分析。
然而,实验室的环境却给这台精密仪器带来了不小的挑战:
位置:实验室位于大楼7层,同楼层多个研究室并排分布,人员物品来往密集
近邻振源:外部10米范围内有泵房,电梯井距离SEM镜筒不足5米。由于电梯井水平面低于实验室地面且为槽式框架结构,当两个电梯箱体自由上下工作时,会产生较大振动,直接传导至电镜镜筒
设备局限:Sigma-500内部虽集成了空气气垫,能在25Hz~40Hz频率范围减缓电镜内部产生的高频机械振动,但对于来自地面的低频振动(<25Hz)却无能为力
结果就是:电梯一运行,图像就模糊。研究人员常常需要在夜间或电梯使用低谷期才能开展高质量成像工作,效率大打折扣。


经过多方考察,该研究室选择了专业环境方案提供商——翌颖科技推荐的HERZ/Table Stable AVI-400主动隔振系统。
主动+被动双机制:主动和被动两种隔离机制同时工作,实时探测传入振动并主动抵消
宽频覆盖:可在0.7Hz-200Hz范围内做主动减震,完美弥补电镜内部空气气垫对低频振动的不足
无低频共振:彻底避免传统被动隔振在共振频率处放大振动的风险
六自由度衰减:对空间内所有方向的振动均有高效抑制能力
Herz AVI-400的安装远比想象中简单。翌颖科技的工程师带着电镜专用举升系统以及几样常用工具——活动扳手、内六角扳手、专用开口扳手,就完成了全部工作。
第一步 | 整体抬升电镜 | 电镜专用举升系统 |
第二步 | 将Herz AVI-400隔振系统放置于电镜底部 | — |
第三步 | 连接线路并调整负载 | 活动扳手、内六角扳手 |
第四步 | 调试完成,开始使用 | 专用开口扳手 |

整个过程仅用时约1小时,无需国外工程师到场,完全由国内工程师独立完成。
值得一提的是,Herz AVI-400采用超薄设计,安装后电镜重心仅增高110mm,不增加横向空间,对原有实验室布局几乎没有任何影响。

安装所需工具

数据展示
未启用主动隔振时:图像出现明显抖动、模糊,细节无法分辨,薄膜表面形貌完全看不清

启用Herz AVI-400主动隔振后:图像清晰锐利,薄膜表面结构一目了然,达到了高品质成像要求

这一对比直观地证明了Herz AVI-400对低频振动的卓越抑制能力——即使电梯近在咫尺(<5米),也不再干扰电镜的稳定工作。
安装至今,Herz AVI-400系统运行稳定,无需任何维护。研究人员表示:
“以前电梯一响,我们就得停工。现在无论电梯怎么运行,图像始终清晰稳定,工作效率提升明显。整个安装过程简单快捷,没有影响我们的正常使用。”

使用单位 | 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院 |
搭载设备 | ZEISS Sigma-500场发射扫描电子显微镜 |
隔振方案 | HERZ/Table Stable AVI-400主动隔振系统 |
安装时间 | 约1小时 |
安装效果 | 彻底消除电梯运行带来的低频振动干扰,30万倍成像稳定清晰 |
安装案例:哈工大材料实验室ZEISS Sigma-500电镜