哈尔滨工业大学材料研究室采用Herz AVI-400主动隔振系统，解决复杂环境下的SEM成像难题

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背景与挑战：顶级材料科学研究遭遇振动“瓶颈”

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院，其材料科学研究位列全球前0.1%行列，在化工薄膜等前沿领域享有盛誉。该研究室拥有一台ZEISS Supra55场发射扫描电子显微镜（SEM），用于高品质成像与高级分析，对仪器稳定性有着极致要求。

然而，实验室的物理环境却给这台精密仪器带来了严峻挑战：

• 位置特殊：实验室位于大楼7层，同楼层多个研究室并排分布，人员物品来往密集。

• 近邻振源：电梯井距离SEM镜筒仅约12米，电梯频繁启停产生持续振动。

• 外部干扰：大楼下方即为繁忙的城市主干道，且主干道地下设有地铁网络，实验室正下方恰好有一座地铁出入口。地面交通与地铁运行带来的低频振动通过建筑结构传递至7楼。

这些叠加的振动直接传导到电镜镜筒，导致图像模糊、漂移，无法正常捕捉高质量图像。虽然Supra55内部集成了空气气垫，能在25Hz~40Hz频率范围内有效减缓电镜内部产生的高频机械振动，但对于来自地面的低频振动（<25Hz）却无能为力。低频振动成为制约成像质量的关键“瓶颈”。

大楼7楼平面图

周边环境

解决方案：优尼康科技引入Herz AVI-400主动隔振系统

面对这一难题，该研究室找到了专业环境方案提供商——优尼康科技有限公司。作为深耕研究单位服务商的优尼康，凭借其对精密仪器环境控制的深刻理解，推荐了Herz主动隔振系统，并具体选用了AVI-400主动隔振平台。

AVI-400的核心技术优势：

• 主动+被动双机制协同工作：既能被动吸收高频振动，又能主动抵消低频振动，实现0.7Hz-200Hz宽频带有效隔离。

• 先进的压电陶瓷技术：实时探测传入振动，并瞬间产生反向力消除振动。

• 无低频共振：彻底避免传统被动隔振在共振频率处放大振动的风险。

• 六自由度宽频谱衰减：对空间内所有方向的振动均有高效抑制能力。

• 高刚性设计：保证电镜在隔振平台上依然拥有稳固支撑。

数据展示

安装过程：简便快捷，无损电镜
AVI-400采用模块化设计，尺寸小巧，不增加电镜横向空间，超薄设计使电镜重心仅增高110mm，对原有操作空间影响极小。安装团队使用电镜专用举升系统，配合活动扳手、内六角扳手等常用工具，整个安装仅需约1小时，无需国外工程师到场，大幅降低了时间与资金成本。

安装过程

应用效果：成像质量获得革命性提升

安装AVI-400主动隔振系统后，研究室对效果进行了严格验证。在电梯运行时，分别采集了无隔振和有隔振状态下的30万倍SEM图像：

电梯运行时，未启用主动隔振，图像出现明显抖动、模糊，细节无法分辨。

电梯运行且主动隔振开启后，图像清晰锐利，薄膜表面形貌一目了然，达到了高品质成像要求。

这一对比直观地证明了AVI-400对低频振动的卓越抑制能力——即使近在咫尺的电梯运行，也不再干扰电镜的稳定工作。

安装完毕

项目总结与客户评价

“自从安装了翌颖科技提供的Herz AVI-400主动隔振系统，我们彻底摆脱了环境振动的困扰。现在即使在白天人员活动密集、地铁频繁运行时，电镜也能稳定输出高质量图像，这为我们化工薄膜领域的研究提供了可靠的数据支撑。”——哈工大材料科学与工程学院相关研究人员

为什么选择翌颖科技与Herz？

• 高度匹配：AVI系列专为SEM等精密仪器设计，性能与电镜完美契合。

• 性价比高：国内供货、本地化安装服务，大幅降低采购与维护成本。

• 快速响应：可提供国内样机试用及演示，让客户先体验后决策。

• 无忧售后：安装调试简便，维护费用低，国内工程师全程支持。