一、主动减震台的工作原理是什么？

主动减震台的核心技术基于压电传感器与压电驱动器构成的主动控制系统。其工作流程如下：

1. 传感检测：内置的压电传感器实时感知环境中的振动信号（涵盖六个自由度——三个平移方向和三个旋转方向）。

2. 信号处理：控制器接收到传感器信号后，通过内部反馈回路和电子控制系统进行分析，计算出与传入振动幅度相同、相位相反的抵消信号。

3. 主动抵消：压电驱动器根据控制信号产生反向驱动力，动态抵消传入的振动能量，使台面保持稳定。

4. 闭环控制：整个过程以毫秒级速度持续闭环运行，实现实时动态隔振。

关键优势：与被动减震系统不同，主动系统无低频共振峰值，在低频段（0.5–5 Hz）表现极为出色。AVI系列和TS系列的内部刚度是被动系统的500倍，具备极佳的定向稳定性和位置稳定性。

二、主动减震台主要用于哪些领域？

主动减震台广泛应用于以下领域：

AVI系列（大型模块化平台）典型应用：

● 扫描电子显微镜（SEM） 和透射电子显微镜（TEM）

● 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）

● 光刻设备（如Raith eLine工具）

● 电子束光刻机（EBL）

● 光谱测量设备

● 其他对精度有要求的大型精密研究仪器

TS系列（桌面型平台）典型应用：

● 原子力显微镜（AFM）

● 扫描探针显微镜（SPM）

● 干涉测量仪

● 荧光显微镜

● 摩擦学与纳米压痕仪

● 高精度轮廓测量

● 体外受精（IVF）

● 任何对5 Hz以下低频振动噪声敏感的精密仪器

总结：只要是受到环境低频振动干扰、需要极限分辨率的精密仪器，主动减震台都能发挥关键作用。

三、主动减震台能消除多少频率的振动？

不同系列的隔振频率范围如下：

AVI系列（基于AVI-600）：

TS系列（基于官方数据）：

关键结论：主动减震台最核心的价值在于解决0.5–5 Hz的超低频振动——这正是被动减震系统无法有效处理的频段。

四、主动减震台和被动减震台有什么区别？

一句话总结：主动减震台解决了被动系统无法处理的核心痛点——低频振动，且刚度和稳定性远超被动方案。

五、主动减震台的价格一般在什么范围？

虽然具体价格因配置、尺寸、负载能力而异，且需根据用户需求向厂商询价，但可以从产品系列和配置大致判断价格层级：

如需获取精确报价，建议联系翌颖科技（电话：021-58381721）进行需求咨询。

六、如何选择适合自己的主动减震台？

关键选择步骤：

1. 确定仪器类型与尺寸

　● 桌面型小型仪器（如AFM、荧光显微镜）→ TS系列（TS-140、TS-150、TS-300LP等型号）

　● 大中型落地式仪器（如SEM、TEM、光刻设备）→ AVI系列（AVI-200、AVI-400、AVI-600）

2. 评估负载重量

　● TS-150：最大负载330 lbs（约150 kg）

　● AVI-200：最大1,000 lbs（约454 kg）

　● AVI-400：最大2,000 lbs（约907 kg）

　● AVI-600：最大3,000 lbs（约1,361 kg，多隔离器可扩展至12,000 lbs）

　● 若负载分布不均匀，可加装外接承载弹簧（每个增加40 kg额外负载）

3. 考虑工作台面尺寸

　● TS系列有标准台面尺寸，需确保仪器底座能完全放置在台面上

　● AVI系列采用模块化设计，可定制尺寸适配不同仪器

4. 评估振动环境

　● 若环境低频振动严重，建议选择带LFS系统的AVI系列（从0.5 Hz开始隔振）

　● 一般实验室环境，TS系列（0.7 Hz起始）已足够

5. 安装条件

　● AVI系列超薄模块化设计，无需吊装设备，一小时内即可完成安装

　● TS系列即插即用，无需安装或调试

七、主动减震台需要定期维护吗？

不需要定期维护。

AVI系列产品的明确说明：

● 安装方便，无需持久维护

● AVI系列和TS系列均为即插即用（Plug-n-Play）解决方案

● 安装后不需要持续的维护或调整

这一点是主动减震台相对于气浮式被动减震台的一大优势——后者需要定期检查气压、更换气源、处理漏气等问题，而基于压电技术的主动减震台没有这类维护负担。

八、主动减震台在实验室中如何安装？

AVI系列安装要点：

1. 超薄模块化设计——隔离器厚度极薄，可轻松置于仪器下方

2. 无需专用吊装设备——大多数情况下无需起重设备即可完成安装

3. 安装时间短——通常一小时内即可完成安装

4. 安装后基本不改变仪器整体轮廓——保持实验室整洁美观

5. 可定制支撑框架——确保平台与实验室地板高度一致

6. 地震约束装置——可与房间地板和平台上工具无缝集成，符合安全标准

TS系列安装要点：

● 无需安装——开箱即可使用

● 自动负载调节——放上仪器后自动适应负载

● 带LCD显示屏——实时显示振动水平、重量分布等信息

九、主动减震台的承重能力是多少？

注：AVI系列通过增加隔离器数量可成比例提升负载能力，适用于超重或超大尺寸仪器。

十、主动减震台对精密仪器有多大的保护作用？

主动减震台对精密仪器的保护作用极其显著，具体体现在：

1. 极限隔振效率

● TS系列在10 Hz处消除99%振动，20 Hz以上消除99.9%，振动降低高达55 dB

● AVI系列从0.5–1 Hz开始即有效隔振，填补了被动系统在低频段的空白

2. 六个自由度全覆盖

● 隔离平移和旋转方向（6个自由度）的振动，而非仅垂直方向

3. 提升仪器分辨率

● 帮助SEM/TEM用户获得更多图像细节，消除因振动导致的图像模糊

● 允许在高层建筑、靠近道路等不良环境中运行高精度仪器

● 某教授反馈：“没有隔振台设备，我们的实验根本无法进行！”

4. 改善纳米制造工艺

● 实际案例：搭配Raith光刻工具的AVI-600M系统，通过去除环境中2 Hz的超低频振动噪声，显著改善了纳米制造工艺质量

5. 全球顶级仪器厂商信赖

● Herz主动减震方案被Carl Zeiss、FEI、Bruker、Asylum Research、Hysitron、Keysight等全球顶级精密仪器制造商广泛采用和推荐

总结

主动减震台是现代精密科研与工业制造中不可或缺的环境控制工具。以Herz的AVI系列（大型模块化平台）和TS系列（桌面型平台）为代表，主动减震技术通过压电传感器与驱动器的闭环控制，实现了从0.5 Hz开始的超低频隔振，隔振效率最高可达99.9%，同时具备无需维护、安装便捷、500倍于被动系统的刚度等突出优势。无论是半导体光刻、电子显微镜成像，还是原子力显微镜测量，主动减震台都能为精密仪器提供关键的保护屏障，帮助研究人员从设备中获得极限性能。