引言

赛默飞 Apreo 2 的安装条件表里，电源、接地、温湿度、门洞尺寸、重量都给了明确数值，只有两行的写法是同一句：需做场地调查。这两行分别是声学与地面振动。

对做场地基建的人来说，这两行最难落地。数值可以直接写进技术协议，一句「需做场地调查」写不进去，也没法用来判断现有楼板够不够。本文说明这一项该怎么读、报告里该看哪几项、以及为什么同一型号在不同项目里的限值并不相同。

---

一、安装条件清单里，振动是怎么写的

1.1 给了数字的部分

先把数据表里能直接引用的部分列出来。这些项目有明确限值，可以直接进入场地条件表。

项目	指标
电源	100 至 240 V AC（−6%，+10%），50 或 60 Hz（±1%），基本配置功耗小于 3.0 kVA
接地电阻	小于 0.1 Ω
温度	20 ± 3 ℃
相对湿度	低于 80%
杂散交流磁场	非同步小于 40 nT；同步（线时间 20 ms @50 Hz、17 ms @60 Hz）小于 100 nT
最小门洞	0.9 m 宽 × 1.9 m 高
镜筒控制柜重量	980 kg
压缩空气	4 至 6 bar，洁净、干燥、无油
冷却	需配系统水冷机，放气建议用干燥氮气
声学	需做场地调查，因声学频谱与现场相关
地面振动	需做场地调查，因地面频谱与现场相关
隔振	可选配主动隔振台

表内数据引自 Apreo 2 数据表的安装要求一节，版本 DS0345-EN-07-2024。

1.2 振动与声学两行为什么只写场地调查

原因在于限值不是设备的固定属性。

同一台 Apreo 2，做常规形貌观察与做纳米级尺寸测量，可接受的振动量级可以差一到两档。工作电压、束流、积分时间变了，对位移的敏感度也跟着变。厂商没有办法在数据表里用一个数字覆盖所有用法。

建筑侧的差异更大。楼板结构、柱网位置、邻近设备、周边交通，每栋楼都不同。同样是「某高校三层的电镜室」，实测频谱的形状可以完全不同。

厂商的处理办法是现场测量。用测量工具记录地面振动、杂散磁场与声学三项，出一份场地报告，报告里给出这一台设备装在这个位置的具体限值。限值因此是一次性的、绑定场地的，不能从说明书里直接抄。

1.3 磁场那一行为什么给了数字

同样是环境量，杂散交流磁场给了明确上限，振动没有。这个差别有依据。

磁场干扰的机理单一，外部干扰源的量级可以直接折算成对电子束偏转的影响，所以能给出 40 nT 与 100 nT 这样的门槛，还区分了非同步与同步两种情况。

振动是宽带的。低频分量表现为整幅图像缓慢漂移，高频分量表现为边缘模糊，两者的影响路径不同，用一个速度值或一个位移值都表达不全。数据表里干脆不给。

同类的场发射扫描电镜里，写法并不统一。蔡司在 GeminiSEM 的说明书里给的是按频段分列的具体限值，可以直接抄进协议，判读方式见蔡司 GeminiSEM 的分段振动限值。两种写法各有取舍，给数字便于执行，给调查要求便于覆盖不同用途，采购时要看清是哪一种。

这条差别对写技术协议有直接用处。给数字的项目照抄即可，写「需做场地调查」的项目，需要先把调查做完，再把报告结论写进协议，顺序不能反。

---

二、报告里该看哪几项

2.1 先看口径

场地报告里的限值常见三种口径：速度均方根值按 1/3 倍频程分档，也就是 VC 曲线；速度或加速度的总值；位移峰峰值。

口径不同不能直接比大小。位移与速度的关系是 v = 2πf·d，同一个位移值在 1 Hz 与 10 Hz 对应的速度相差十倍。拿一个位移限值去和 VC 等级比，很容易得出相反结论。

VC 曲线各档对应的设备类型与判读方法，另有一篇专门讲过，见VC 曲线与电镜振动等级对照。

2.2 再看方向、频段与设备状态

三轴要分别给，不做单轴代表。竖向与两个水平方向在多数楼板上的差异不小，只报一个方向等于丢掉一半信息。

频段下限要写到 1 Hz。1 至 10 Hz 是建筑与隔振系统都难处理的一段，报告若从 8 Hz 起算，恰好把最需要判断的部分跳过去了。

设备状态要写明。场地调查通常在设备未进场时做，测的是环境本底；装机后复测时如果设备已通电待机，测到的是环境加设备自身。两种数据不能混在一张表里比较。

2.3 最后看限值和用途的绑定关系

报告里的限值对应某个具体用途。买机器时按形貌观察报的场地，后来改做尺寸测量，限值需要重新确认。

报告也有时效。场地周边新增风机房、新装电梯、道路改造之后，频谱会变，原来的报告不再成立。这一条在租用园区楼宇的项目里经常被忽略。

---

三、同一型号为什么限值不同

3.1 两份公开报告的差别

隔振厂商公开的安装报告里，能看到 Apreo 系列在不同项目上拿到的场地口径并不一样。

项目	2017 年一份 Apreo 系列安装报告	2026 年一份 Apreo 2C 安装报告
场地振动要求的写法	VC-F，注明为一般情况下的要求	三个方向均为 VC-G
限值的来源	由厂商培训人员用场地评估工具调查后确定	由厂商用测量工具测振动、磁场、声学后出具场地报告
对 VC 曲线的定位	仅作参考，最终以场地调查为准	限值随调查结果变化，各项目可能不同
报告给出的结论	实测地面三个方向均超出要求，加装主动隔振平台后通过	地面与平台三轴均通过

两份报告都由第三方隔振厂商出具，报告里引用的是设备厂商给出的场地口径，不是隔振厂商自己定的标准。

3.2 差别来自哪里

从 VC-F 到 VC-G，限值收紧一倍，VC 曲线每档之间正好是二倍关系。这个差距不是型号升级带来的，两份报告引用的说法都指向同一件事：限值由那次场地调查决定。

2026 年那份报告写得更直接，原文的意思是厂商用测量工具做场地调查后出具报告，因此振动要求可能随调查结果变化。

换句话说，VC-F 与 VC-G 的差别，反映的是两个项目的场地条件与用途不同，不能读成「新机器要求更高」。

3.3 不要照抄别人的等级

常见做法是拿同行项目的 VC 等级当自己的设计目标。这个做法在两种情况下会出错：自己场地现状本来就差，照抄之后要补的措施更多；或者自己的用途比对方严，照抄之后仍然不达标。

可行的顺序是反过来的：先按自己的用途定一个设计目标，再测现状，看差距有多大，最后才决定措施。别人的报告只能用来判断量级，不能当结论。

---

四、把振动这一项落成场地条件

4.1 测现状

测量时段选在邻近设备正常运行的工作日白天，另加一次夜间或周末的本底测量。两次数据放在一起，才能分清哪些峰值是邻居贡献的。

测点至少三处：设备就位点、房间中心、柱脚或墙脚。第一处决定设备能不能用，第二处反映房间内的分布，第三处用来判断振动是否沿结构传入。

每个测点的有效记录不少于 3 次，离散过大时增加次数。记录时要留频谱原始数据，只记一个总值，后面判断超标位置时没有依据。

4.2 定目标

有厂商场地报告的，按报告执行。没有报告的，按用途取一个 VC 等级作为设计目标，并在目标上留余量，因为报告给的是最低要求，场地还会随时间变化。

目标要写成频段形式，例如「1 至 80 Hz，各 1/3 倍频程不超过某个值」，不写单一数值。单一数值在窄带峰值面前没有约束力。

4.3 定措施

建筑侧的措施在装修之前做，成本低。位置选择上，避开设备机房的正上方与正下方；结构上，大跨度楼板的中部振动通常大于梁边与柱边；必要时做浮筑地坪与隔振缝，把实验室面层与主体结构脱开。

设备侧的措施在装修之后仍可补。Apreo 2 的安装条件里本身就列了可选配的主动隔振台，这说明厂商把隔振台当作达到较高场地要求的常规手段，不是特殊配置。

隔振台按频段选。低频段要靠隔振起始频率更低的主动隔振，中高频与承载可以由被动方案承担，两者的分工边界见主动隔振与被动隔振的频段边界。

---

五、几处容易判错的地方

常见判断	实际情况
只看 VC 等级，不看频段	等级是一条包络线，实测超标往往只出现在一两个 1/3 倍频程，处理方式与超标位置有关
用速度总值判断	总值会把窄带峰值平均掉，看起来达标，成像仍然不稳
把设备自身振动算进环境	水冷机、真空泵、压缩机属于随机附件，它们自己就是振源，装机后测到的数据要分开看
只处理振动	声学与磁场在同一份调查里，三项互相会混淆判断，声学引起的振动常被误记为地面振动
装机前不测，装机后再说	建筑侧措施在装修后很难补，代价高出一个量级

其中第四条值得多说一句。空调出风口正对镜筒、排风机与真空泵共处一室，这类情形下测到的「地面振动」里有一部分其实是空气声激励薄壁结构后产生的。判断方法是在设备停机与运行两种状态下分别测，看峰值随哪个状态消失。

---

六、常见问题

问：Apreo 2 的振动限值到底是多少？

答：数据表不给固定数值，安装要求里地面振动一行写的是需做场地调查。具体限值由厂商现场测量后随场地报告给出，因此同一型号在不同项目里会不一样。

问：说明书没给数字，是不是说明要求不严？

答：不是。公开的安装报告里，Apreo 系列拿到的场地要求有 VC-F，也有 VC-G，都属于严格的一档。不给数字的原因是无法用一个数值覆盖所有用途与所有建筑，不是要求宽松。

问：拿同行项目的 VC 等级当自己的目标可以吗？

答：只能当量级参考。限值与场地现状、设备用途绑定，同行的报告反映的是他们那次调查的结果。自己的项目要按自己的用途定目标，再测现状核对差距。

问：场地调查要测哪几项？

答：地面振动、杂散交流磁场、声学三项一起测。厂商的场地报告也是按这三项出的。只测振动会漏掉磁场与声学引起的成像问题，这两类问题在图像上的表现与振动并不总能分开。

问：装修完了才想起测振动，还有补救办法吗？

答：有，但选择变少。建筑侧的位置调整与浮筑地坪基本做不了，剩下的是设备侧措施，包括主动隔振台与局部隔声。代价是承载、净高与通道要重新核一遍，设备的进场路径也可能受限。

---

七、结语

振动这一项在 Apreo 2 的安装条件里写得最含糊，但它恰好是最需要提前定的一项。原因很直接：建筑侧的措施在装修完成后基本无法补做，设备侧的措施则随时可以加。

建议的顺序是先拿厂商场地报告，或者按用途自己定一个频段目标；再测现状，拿到频谱；最后才谈隔振方案。这个顺序与数据表里的写法是一致的，先调查，后定限值。

场地条件可以自己先跑一遍初判，方法与记录格式见楼板振动自查的做法，拿到频谱后再决定是否需要请第三方做正式测量。

产品页里按频段与负载分档列出各系列隔振模块的参数，可以按实测峰值对照查看。

---

参考文献

1. Thermo Fisher Scientific. Apreo 2 SEM 数据表, DS0345-EN-07-2024.（安装要求：电源、接地、温湿度、杂散交流磁场限值、门洞尺寸、镜筒控制柜重量、声学与地面振动的场地调查要求、可选主动隔振台）
2. DAEIL SYSTEMS. Thermo Fisher Scientific Apreo 2 SEM DVIA-MB1000 Installation Report, 2017.（场地振动要求写为 VC-F，并注明以厂商场地评估结果为准）
3. DAEIL SYSTEMS. Thermo Fisher Scientific Apreo 2C SEM DVIA-ML1000 Installation Report, 2026.（三个方向均为 VC-G；说明限值由厂商场地调查后确定，随项目变化）
4. IEST-RP-CC012.2, Considerations in Cleanroom Design.（VC 曲线分档、限值与评定频段）
5. Rao, S. S. Mechanical Vibrations, 6th ed., Pearson.（位移与速度的换算关系）
6. 翌颖科技. HERZ AVI 系列主动隔振模块产品资料.（隔振起始频率、安装高度、负载分档）