Herz AVI-200系列 主动式减震台
HERZ AVI-200系列精密防震工作台
—— 源自日本马自达集团HERZ株式会社 · 模块化主动隔振工作站 ——
HERZ AVI-200系列精密防震工作台产品介绍：
HERZ AVI-200系列是日本HERZ株式会社推出的紧凑型模块化主动隔振工作站，专为需要低频隔振功能的高端精密仪器设计。该系统通过主动检测输入振动并动态反向抵消，在1Hz至200Hz的频率范围内提供卓越的隔振性能，200Hz以上则由被动隔振模式有效衰减高频振动。AVI-200采用模块化架构，可根据仪器重量和尺寸灵活增减隔振模块，轻松实现从轻巧型到大型设备的承载需求。其内部反馈回路可抑制所有机械共振，确保六个自由度全方位隔振，且无需压缩空气，无低频共振困扰，安装简便，能够多年无故障连续运行，是扫描探针显微镜、干涉仪、轮廓仪等精密仪器的理想伴侣。
为什么您的精密仪器需要主动式隔振？
实验室及生产环境中的楼板振动、设备运转等低频扰动（0.5-20Hz）是精密测量和加工精度的隐形杀手。传统被动空气隔振系统在此频段存在固有共振，反而会放大振动幅值。AVI-200系列采用主动控制技术，从1Hz起即提供有效隔离，10Hz以上传递率低于-35dB，从根本上消除共振峰，保障您的仪器在稳定环境中发挥极致性能。
HERZ AVI-200核心优势一览：
主动消振，动态响应迅捷 | 6自由度全向隔振 |
模块化灵活配置 | 无低频共振，免气源 |
安装简单，即插即用 | 长期稳定运行 |
主动隔振工作原理：
AVI-200系列采用主动反馈控制技术，内置高灵敏度振动传感器持续监测地基振动，控制器实时分析波形并生成反向补偿信号，驱动电磁执行器产生精确抵消力。系统特有的内部反馈回路主动抑制所有机械共振峰，确保在1-200Hz范围内传递率极低。对于200Hz以上的高频振动，系统依靠结构阻尼进行被动衰减，从而实现全频段高效隔振。模块化设计允许多个AVI-200M单元同步工作，均匀分布承载，保证大面积台面的整体稳定性。
技术亮点深度解析：
l内部共振抑制：独特的反馈回路设计可主动抑制所有结构共振，确保隔振曲线平滑无峰
l超低系统噪声：本底噪声低于50nG/√Hz，不会引入额外干扰，适合极微弱信号测量
l模块同步技术：多个模块可协同工作，自动分配负载，保证大型台面各点隔振性能一致
l免气源免维护：全电磁驱动，无需空压机或气路，大幅降低配套设施成本和维护工作量
l紧凑控制器：控制器尺寸仅48x13x25cm，可置于台下或机架，节省桌面空间
典型行业应用：
AVI-200系列凭借卓越的低频隔振能力和模块化灵活性，广泛应用于各类精密测量与制造领域：
STM（扫描隧道显微镜） | Spinstand（硬盘测试台） | 干涉测量系统 | 轮廓测量/粗糙度仪 |
AFM（原子力显微镜） | 摩擦学/纳米压痕仪 | 激光共聚焦显微镜 | 其他高精密仪器 |
以上仅列举部分典型应用，AVI-200系列适用于任何对低频振动敏感的精密设备。如需确认您的仪器兼容性，欢迎咨询。
AVI系列型号对比选型指南：
为方便您快速选择最适合的隔振方案，以下对AVI-200、AVI-400、AVI-600三个系列的典型性能与适用场景进行横向对比。
对比项目 | AVI-200 | AVI-400 | AVI-600 |
定位 | 中型桌面仪器通用隔振 | 大型精密仪器专业防震 | 重型纳米仪器及多模块组合平台 |
主动隔振范围 | 1-200 Hz | 1-200 Hz | 1-200 Hz |
典型传递率 | >10Hz 低于 -35 dB | >10Hz 低于 -35 dB | >10Hz 低于 -35 dB |
响应时间 | 5-20 ms | <10 ms | 5-20 ms |
单模块承载 | 根据模块数量配置 | 根据模块数量配置 | 0-600 kg（单模块） |
最大总承载 | 由模块数决定（适用于中型负载） | 由模块数决定（适用于大型负载） | 最高9000磅（约4吨） |
典型模块尺寸 | 约130x600x110 mm | 多种尺寸可选（依配置） | AVI-600S: 396x288x112.5 mm |
系统噪声 | 低于 50 nG/√Hz | 低于 50 nG/√Hz | 低于 50 nG/√Hz |
气源要求 | 无需压缩空气 | 无需压缩空气 | 无需压缩空气 |
适用仪器举例 | STM, AFM, 干涉仪, 轮廓仪, 桌面SEM | SEM, TEM, FIB, 大型干涉测量设备 | 大型SEM, TEM, UHV-SPM, 光刻机, 吨级精密设备 |
选型建议：
- 若仪器为中型桌面设备且负载在模块配置范围内，AVI-200是经济高效的选择；
- 若为大型电子显微镜或对瞬态恢复有极高要求（<10ms），AVI-400提供专业级防震性能；
- 若仪器重量极大或需构建承载达数吨的超稳平台，AVI-600的单模块600kg及多模块组合能力是最佳解决方案。
如需精确配置，请联系我们的技术团队获取一对一选型支持。
详细技术参数：
参数项目 | 规格详情 |
隔振范围 | 主动：1-200Hz ；被动：>200Hz |
传递率 | 超过10Hz < -35 dB |
响应时间 | 5-20 毫秒 |
模块尺寸 (AVI-200M) | W 5.1” x D 23.6” x H 4.3” (约130 x 600 x 110 mm) |
模块重量 | 约 20 kg |
静态顺应性 | 垂直方向约 1.75 μm/N，水平方向约 3.5 μm/N |
系统噪声 | 低于 50 nG/√Hz |
功耗 | 通常 9 W |
输入电压 | 90-125 VAC / 200-250 VAC, 50-60 Hz |
控制器尺寸 | 48 x 13 x 25 cm (19” x 5.1” x 9.8”) |
性能监控 | 复用信号输出，示波器显示有/无隔振状态下的振动等级 |
模块化配置与载重能力：
AVI-200系列可根据实际需求选择不同数量的基础模块，灵活搭建隔振平台。下表列出了常见配置对应的尺寸及最大承载能力，方便您快速选型。
AVI-200系列模块组合示意 · 可根据仪器重量和台面尺寸灵活扩展
选择HERZ AVI-200，您将获得：
测量结果极致稳定 —— 彻底消除低频振动干扰，显著提升成像质量和数据重复性
按需扩展，保护投资 —— 模块化设计允许未来增加模块以适配更大或更重的仪器，无需整体更换
运行成本极低 —— 仅9W功耗，无需压缩空气，无耗材，几乎零维护
安静无忧的工作环境 —— 电磁驱动无气流噪声，系统本底噪声极低，适合超净间和安静实验室
常见问题快速解答：
Q：AVI-200与TS-150系列有何不同？
A：AVI-200是模块化工作站，可通过增加基础模块来扩展承载面积和重量，特别适合大型或异形仪器；TS-150则为紧凑型单台设计，适合标准桌面仪器。两者均采用主动隔振技术，但AVI-200的频率范围为1-200Hz主动，TS-150从0.7Hz起始。
Q：如何确定需要几个模块？
A：请参考上方型号尺寸及载重能力图表，根据您的仪器总重量和台面尺寸选择对应的模块数量。我们的技术团队也可协助您进行精确选型。
Q：安装需要专业工程师吗？
A：AVI-200设计为开箱即用，模块重量约20kg，连接控制器和电源即可工作。我们提供详细的安装手册，大多数用户可自行完成。如需现场支持，也可预约工程师上门。
Q：能否在现有光学平台或实验台上使用？
A：完全可以。AVI-200模块可直接放置于任何刚性台面上，其主动隔振功能独立工作，不受下方台面类型影响，是升级现有设备隔振性能的理想选择。
HERZ · 日本马自达集团旗下品牌 | 精密仪器隔振解决方案全球供应商
