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Herz AVI-400系列 主动式减震系统

产品简介

Herz AVI-400是一款高性能主动式减震台(主动隔振平台),采用先进的电磁驱动与传感器反馈技术,可有效隔离从0.6Hz开始的超低频至数百Hz的宽频带地面振动。作为Herz授权代理,翌颖科技为您提供该型号的全面技术支撑、选型对比与系统集成服务。它专为提升扫描电镜、原子力显微镜、干涉仪等超高精度设备的成像分辨率与测量稳定性而设计,是高端实验室环境控制的理想选择。


  • 系统配置: 隔振模块和信号控制器
  • 主动控制范围: 0.7Hz ~ 200Hz
  • 被动控制范围: 大于200Hz
  • 隔振单元重量: 13 - 20Kg
  • 载重能力: 800Kg
  • 主动补偿自由度: 空间6个自由度

产品详情

产品参数

HERZ AVI-400系列主动式防震系统

—— 源自日本马自达集团HERZ株式会社 · 大型精密仪器模块化隔振平台 ——


AVI400系列主动式防震系统

主动消除共振  |  振动恢复<10ms  |  无低频共振  |  无需压缩空气  |  模块化灵活扩展

HERZ AVI-400系列主动式防震系统产品介绍:

HERZ AVI-400系列是HERZ株式会社为大型精密仪器量身打造的模块化主动式防震系统。基于丰富的减震行业经验,AVI-400系列采用先进的主动反馈控制技术,从根本上消除了传统被动系统固有的低频共振问题。系统通过持续监测并动态抵消环境振动,能够在10毫秒内迅速恢复稳定状态,为扫描电子显微镜、透射电子显微镜等超高精度设备提供极致稳定的工作环境。其紧凑的模块化单元设计不仅支持灵活扩展以适应不同尺寸和重量的大型仪器,还具备无需压缩空气、不升温、无电磁干扰等显著优点,是升级和整合现有精密设备隔振性能的理想选择。

实际应用案例:

AVI-400系列已成功服务于全球众多顶尖实验室,直接安装于高端电子显微镜等大型仪器下方,提供专业级振动防护。

AVI-400与ZEISS Sigma 500    AVI-400与FEI TEM

AVI-400M/LP Plus 与ZEISS Sigma 500 配套      |      AVI-400M/4/LP Plus 与FEI TEM 配套

 

为什么大型精密仪器必须选择主动防震?

随着测量精度向纳米级迈进,环境微振动已成为制约仪器性能的瓶颈。传统的被动隔振系统存在固有的自然谐振频率,在此频率附近不仅无法隔振,反而会显著放大振动幅值。AVI-400系列采用主动控制策略,彻底消除了这一低频共振峰,对所有方向的振动进行实时动态补偿。其恢复时间低于10毫秒,意味着振动发生后瞬间即可复原,确保电子显微镜等高灵敏度仪器始终工作在最安静的力学环境中,成像质量与测量精度得到革命性提升。

 

HERZ AVI-400核心优势一览:

消除共振,极致稳定
                   彻底根除被动系统的低频共振,振动恢复时间低于10毫秒,性能远超被动方案

模块化扩展,按需配置
                   小型模块化单元可灵活组合,适配从小型到大型仪器的个性化重量和尺寸需求

无气源,零维护烦恼
                   无需压缩空气和配套管路,不升温,功耗极低,几乎无需维护即可多年稳定运行

干净无干扰
                   无电磁干扰设计,不会对精密仪器产生任何附加噪声或电磁影响

反馈控制,自动校准
                   内置智能反馈回路,无需手动校准,开机即自动达到最佳隔振状态

紧凑尺寸,易于整合
                   模块尺寸小巧,可直接安装于现有大型仪器下方,无需大规模改造实验室

 

隔振效果直观对比:

防震前

防震前振动频谱

防震后

防震后振动频谱

安装AVI-400前后振动频谱对比 · 低频振动峰被有效消除

技术亮点深度解析:

  • l超快恢复时间:振动扰动后系统在10毫秒内即可恢复稳定,几乎是瞬时的动态响应

  • l智能反馈控制:系统持续监测并自动调节,无需任何手动校准程序,始终维持最佳性能

  • l低功耗不升温:高效率电磁驱动和低功耗技术确保系统即使长时间运行也不会产生热量积聚

  • l纯净电磁环境:精心设计的电磁屏蔽确保驱动单元无电磁泄漏,不影响SEM/TEM等对电磁噪声敏感的仪器

  • l个性化定制:模块化小型单元可根据仪器底脚位置和重量分布灵活排布,满足各种非标需求


AVI系列型号对比选型指南:

为方便您快速选择最适合的隔振方案,以下对AVI-200、AVI-400、AVI-600三个系列的典型性能与适用场景进行横向对比。

对比项目

AVI-200

AVI-400

AVI-600

定位

中型桌面仪器通用隔振

大型精密仪器专业防震

重型纳米仪器及多模块组合平台

主动隔振范围

1-200 Hz

1-200 Hz

1-200 Hz

典型传递率

>10Hz 低于 -35 dB

>10Hz 低于 -35 dB

>10Hz 低于 -35 dB

响应时间

5-20 ms

<10 ms

5-20 ms

单模块承载

根据模块数量配置

根据模块数量配置

0-600 kg(单模块)

最大总承载

由模块数决定(适用于中型负载)

由模块数决定(适用于大型负载)

最高9000磅(约4吨)

典型模块尺寸

约130x600x110 mm

多种尺寸可选(依配置)

AVI-600S: 396x288x112.5 mm
AVI-600M: 720x288x112.5 mm

系统噪声

低于 50 nG/√Hz

低于 50 nG/√Hz

低于 50 nG/√Hz

气源要求

无需压缩空气

无需压缩空气

无需压缩空气

适用仪器举例

STM, AFM, 干涉仪, 轮廓仪, 桌面SEM

SEM, TEM, FIB, 大型干涉测量设备

大型SEM, TEM, UHV-SPM, 光刻机, 吨级精密设备

选型建议:
       - 若仪器为中型桌面设备且负载在模块配置范围内,AVI-200是经济高效的选择;
- 若为大型电子显微镜或对瞬态恢复有极高要求(<10ms),
AVI-400提供专业级防震性能;
- 若仪器重量极大或需构建承载达数吨的超稳平台,
AVI-600的单模块600kg及多模块组合能力是最佳解决方案。
如需精确配置,请联系我们的技术团队获取一对一选型支持。


典型行业应用:

扫描电子显微镜 (SEM)

透射电子显微镜 (TEM)

聚焦离子束系统 (FIB)

大型轮廓/干涉测量仪

AVI-400系列专为大型、高价值精密仪器设计,是电子显微镜等设备的理想隔振伴侣。

选择HERZ AVI-400,您将获得:

纳米级成像稳定性 —— 消除振动导致的图像模糊和漂移,充分发挥电子显微镜的分辨率极限

保护核心资产投资 —— 模块化设计可随仪器升级而扩展,避免因更换隔振系统造成浪费

实验室环境友好 —— 无气源需求、不产生热量和电磁噪声,完美融入超净间和精密实验室

常见问题快速解答:

Q:AVI-400与AVI-200系列有何主要区别?
       A:AVI-400是专为大型、重型精密仪器设计的高级平台,承载能力和模块化灵活性更强,通常用于SEM、TEM等设备;AVI-200则更偏向中型桌面仪器。

Q:安装AVI-400会影响我现有仪器的保修或服务吗?
       A:不会。AVI-400是独立的支撑平台,放置于仪器与地面之间,不改变仪器本身任何结构,通常不影响原厂保修。

Q:模块数量如何确定?
       A:根据您仪器的总重量、底脚布局和台面尺寸来决定。我们的技术团队可提供免费选型支持,确保最佳的模块配置方案。

HERZ · 日本马自达集团旗下品牌  |  精密仪器隔振解决方案全球供应商


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