Herz AVI-600系列 主动式防震系统
HERZ AVI-600系列主动式防震系统
—— 源自日本马自达集团HERZ株式会社 · 大型纳米仪器模块化隔振解决方案 ——
HERZ AVI-600系列主动式防震系统产品介绍：
HERZ AVI-600系列是专为大型纳米技术仪器和重型精密设备设计的顶级模块化主动隔振系统。作为AVI系列的旗舰型号，AVI-600采用先进的压电传感与主动补偿技术，通过控制器内的压电加速度传感器实时捕捉外界振动信号，转换为电信号后驱动隔离模块中的压电换能器，产生大小相等、方向相反的反向力来精确消除传入振动。系统内部反馈回路可主动抑制所有机械共振，提供覆盖六个空间方向的全方位隔振。其强大的模块化架构允许通过增加隔振模块数量来线性提升系统承载能力，总承重可达9000磅（约4吨），是扫描电镜、透射电镜、光刻机等大型贵重仪器的理想防震平台。
HERZ AVI-600核心优势一览：
模块化无限扩展 | 6自由度全向隔振 |
主动共振抑制 | 免气源免维护 |
LED数字显示控制器 | 安装简单即插即用 |
主动隔振工作原理：
AVI-600系列采用HERZ专利的压电主动控制技术。控制器内置高灵敏度压电加速度传感器，实时监测来自地基的六个方向振动信号，并将其转换为电信号。该信号经数字控制器高速处理后，驱动隔离模块中的压电换能器产生一个与传入振动大小相等、方向相反的精确反向力，从而动态抵消环境振动。系统特有的反馈回路持续监测并抑制所有机械共振峰，确保在1-200Hz主动隔振范围内传递率极低，200Hz以上则由被动隔振模式有效衰减高频振动，实现真正的全频段防护。
技术亮点深度解析：
l压电换能驱动：利用逆压电效应产生精确反向力，响应速度极快（5-20ms），无机械滞后
l反馈共振抑制：闭环控制系统持续监测并消除所有机械谐振峰，隔振曲线平滑无尖峰
l线性扩展能力：每个模块独立工作，增加模块数量即可线性提升总承载，无需更换控制器
l数字LED控制器：前面板配备数字显示屏，实时显示系统运行状态，便于监控和诊断
l超长使用寿命：全固态电子驱动，无磨损部件，设计寿命内可连续无故障运行多年
AVI系列型号对比选型指南：
为方便您快速选择最适合的隔振方案，以下对AVI-200、AVI-400、AVI-600三个系列的典型性能与适用场景进行横向对比。
对比项目 | AVI-200 | AVI-400 | AVI-600 |
定位 | 中型桌面仪器通用隔振 | 大型精密仪器专业防震 | 重型纳米仪器及多模块组合平台 |
主动隔振范围 | 1-200 Hz | 1-200 Hz | 1-200 Hz |
典型传递率 | >10Hz 低于 -35 dB | >10Hz 低于 -35 dB | >10Hz 低于 -35 dB |
响应时间 | 5-20 ms | <10 ms | 5-20 ms |
单模块承载 | 根据模块数量配置 | 根据模块数量配置 | 0-600 kg（单模块） |
最大总承载 | 由模块数决定（适用于中型负载） | 由模块数决定（适用于大型负载） | 最高9000磅（约4吨） |
典型模块尺寸 | 约130x600x110 mm | 多种尺寸可选（依配置） | AVI-600S: 396x288x112.5 mm |
系统噪声 | 低于 50 nG/√Hz | 低于 50 nG/√Hz | 低于 50 nG/√Hz |
气源要求 | 无需压缩空气 | 无需压缩空气 | 无需压缩空气 |
适用仪器举例 | STM, AFM, 干涉仪, 轮廓仪, 桌面SEM | SEM, TEM, FIB, 大型干涉测量设备 | 大型SEM, TEM, UHV-SPM, 光刻机, 吨级精密设备 |
选型建议：
- 若仪器为中型桌面设备且负载在模块配置范围内，AVI-200是经济高效的选择；
- 若为大型电子显微镜或对瞬态恢复有极高要求（<10ms），AVI-400提供专业级防震性能；
- 若仪器重量极大或需构建承载达数吨的超稳平台，AVI-600的单模块600kg及多模块组合能力是最佳解决方案。
如需精确配置，请联系我们的技术团队获取一对一选型支持。
典型行业应用：
AVI-600系列凭借其强大的承载能力和卓越的低频隔振性能，是大型纳米技术仪器防震的理想选择。
扫描电子显微镜 (SEM) | 透射电子显微镜 (TEM) | 超高真空SPM (UHV-SPM) | 光刻/光刻机 |
隧道显微镜 (STM) | Fabry-Perot干涉仪 | 大型精密检测设备 | 其他对振动敏感的大型仪器 |
以上列举了AVI-600系列的典型应用领域，该系列尤其适合重量大、对低频振动极其敏感的纳米级仪器。
详细技术参数：
参数项目 | 规格详情 |
隔振频率范围 | 主动：1-200Hz ；被动：>200Hz |
响应时间 | 5-20 毫秒 |
控制自由度 | 6自由度（3平移 + 3旋转）全模式主动控制 |
单模块承载能力 | 0 - 600 kg |
最大总承载 | 最高可达9000磅（约4吨），取决于模块数量 |
AVI-600M模块尺寸 | 720 x 288 x 112.5 mm（长x宽x高） |
AVI-600S模块尺寸 | 396 x 288 x 112.5 mm（长x宽x高） |
控制器显示 | 数字LED显示屏，实时显示系统状态 |
选择HERZ AVI-600，您将获得：
大型仪器极致稳定 —— 单模块承载600kg，多模块组合可达吨级，为重型纳米仪器提供坚实稳定的基础
按需扩展，保护投资 —— 模块化设计允许未来根据仪器升级增加模块数量，无需整体更换隔振系统
安装便捷，即刻运行 —— 无需气源和复杂管路，紧凑模块直接放置于设备下方，连接控制器即可工作
长期可靠耐用 —— 全固态电子设计，无机械磨损部件，能多年无故障连续运行，维护成本极低
常见问题快速解答：
Q：如何确定需要AVI-600S还是AVI-600M模块？
A：AVI-600S尺寸更紧凑（396mm长），适合空间有限的安装场景；AVI-600M为标准长度（720mm），提供更均匀的支撑面积。两者承载能力相同，可根据仪器底脚间距和台面尺寸选择。
Q：多模块组合时如何保证同步性？
A：所有模块由同一控制器集中管理，控制信号精确同步，确保整个台面各点的隔振性能一致，不会产生局部振动差异。
Q：AVI-600可以安装在现有实验室的架空地板上吗？
A：可以。AVI-600模块底部可适配多种地面条件。对于架空地板或存在较大地面不平度的场景，建议联系我们进行现场评估，以确保最佳隔振效果。
HERZ · 日本马自达集团旗下品牌 | 精密仪器隔振解决方案全球供应商
技术参数 | |||
| 隔振范围 | 主动:1-200Hz ;被动: >200Hz | ||
| 传输率 | 超过10Hz<0.017（ -35 dB） | ||
| 模块尺寸 | W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600) | ||
| 模块重量 | 60 KG / 132 Lbs | ||
静态柔度(每个模块) | |||
| 垂直方向 | 约 12 μm / N | ||
| 水平方向 | 约 6 μm / N | ||
| 系统噪声 | 低于50nG/√Hz | ||
| 耗电量 | 通常情况下为27 W（标配） | ||
| 输入电压 | 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz | ||
| 控制器尺寸 | 48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8” | ||
| 性能监控 | 通过在示波器上显示的一个多重信号表示各传感部位是否隔振 | ||
