Herz TS-150 桌面型主动式减振台
HERZ TS-150桌上型主动式隔振台
HERZ TS-150桌上型主动式隔振台来自日本马自达集团下全资子公司HERZ，是一款灵活易用的桌上型主动隔振台，通过针对低频振动进行准确补偿，实现全频段隔振。自适应调节地基振动前馈，抵消多方向振动传递。显著提升精密仪器（如透射电镜、光刻机）的测量稳定性。TS-150 融合了久经考验的技术卓越性与优雅且用户友好的设计，这款中型动态隔振系统特别适用于实验室应用场景。
HERZ TS-150桌上型主动式隔振台产品特点：
l TS-150融合了久经考验的技术卓越性与优雅且用户友好的设计
l TS 150的隔离性能从0.7Hz开始，在10Hz以上迅速提升至40dB
l 由于不存在任何低频共振，其性能远优于大多数常见的被动空气阻尼方案
l TS系统的固有刚度赋予其卓越的方向+位置稳定性
l TS 150的优异性能覆盖全部六种平移与旋转振动模式
l 精密的负载无关自动高度调节机制，即使在负载大幅变化后仍能将顶板稳定在最佳工作高度
l 通过遥控器可实现隔离功能的外部“开启”与“关闭”切换
用户友好、操作便捷的优势源于创新的结构设计：
l TS-150高度仅78.5毫米
l TS-150重量仅17.5千克
HERZ TS-150桌上型主动式隔振台测量原理：
HERZ TS-150桌上型主动式隔振台通过传感器实时监测外部振动信号，并将数据传输至控制器。控制器根据振动波形生成反向作用力，由执行器施加与振动相位相反的力，实现动态抵消，大幅度抑制低频振动及复杂环境干扰。结合被动隔振与主动控制技术，被动系统吸收高频振动能量，主动系统针对低频振动进行精准补偿，实现全频段隔振。采用6自由度控制，自适应调节振动前馈，抵消多方向振动传递。
SPM | AFM | 台阶仪 | 激光干涉仪 |
桌面型SEM | 激光共聚焦显微镜 | 表面粗糙度仪 | 小型硬度计 |
电子天平 | 硬盘制造装置 | 微操作机器人 | 其他精密装置 |
HERZ TS-150桌上型主动式隔振台产品参数：
频率 | 0.7-1000Hz |
负载范围 | 0-150kg |
尺寸 | 400 x 450 x 78.5mm |
隔离： | 动态0.7Hz至1kHz，1kHz以上为被动隔离 |
透射率： | 参见附图曲线 10Hz以上透射率<0.01（-40dB） |
校正力： | 垂直方向±8N，水平方向±4 N |
静态顺应性： | 垂直方向约12 µm/N，水平方向约30-40 µm/N |
最大负载： | 150 kg |
尺寸： | 400 x 450 x 78.2 mm |
重量： | 17.5 kg |
电气 | |
安全等级： | 1级 |
功耗： | 最大10W 负载调节期间20W |
输入电压： | 115-230V交流电 ±10% 50-60Hz |
过载保护： | 当负载过重或严重失衡时显示屏提示 |
监测信号： | 多路复用信号通过示波器显示有/无隔离状态下的振动水平——仅用于诊断 |
前面板显示菜单：
| 显示仪器状态包括： - 高度调节 - 隔离开关状态 - 过载提示 - 运输锁定 - 技术热线 |
台面 | |
尺寸： | 400 x 450 毫米 |
材质：
| 阻尼铝夹层结构 可选配25毫米间距M6螺纹孔 或定制规格 |
HERZ TS-150桌上型主动式隔振台效果图：
频率 | 0.7-1000Hz |
负载范围 | 0-150kg |
尺寸 | 400 x 450 x 78.5mm |
隔离： | 动态0.7Hz至1kHz，1kHz以上为被动隔离 |
透射率： | 参见附图曲线 10Hz以上透射率<0.01（-40dB） |
校正力： | 垂直方向±8N，水平方向±4 N |
静态顺应性： | 垂直方向约12 µm/N，水平方向约30-40 µm/N |
最大负载： | 150 kg |
尺寸： | 400 x 450 x 78.2 mm |
重量： | 17.5 kg |
电气 | |
安全等级： | 1级 |
功耗： | 最大10W 负载调节期间20W |
输入电压： | 115-230V交流电 ±10% 50-60Hz |
过载保护： | 当负载过重或严重失衡时显示屏提示 |
监测信号： | 多路复用信号通过示波器显示有/无隔离状态下的振动水平——仅用于诊断 |
前面板显示菜单：
| 显示仪器状态包括： - 高度调节 - 隔离开关状态 - 过载提示 - 运输锁定 - 技术热线 |
台面 | |
尺寸： | 400 x 450 毫米 |
材质：
| 阻尼铝夹层结构 可选配25毫米间距M6螺纹孔 或定制规格 |
