Herz TS-150 桌面型主动式减振台
HERZ TS-150桌上型主动式隔振台
—— 源自日本马自达集团HERZ株式会社 · 实验室精密仪器隔振专家 ——

HERZ TS-150桌上型主动式隔振台,来自日本马自达集团旗下全资子公司HERZ株式会社,是专为高端实验室与精密制造场景打造的中型动态隔振系统。TS-150采用先进的主动反馈控制技术,通过高灵敏度传感器实时捕捉环境振动,控制器在毫秒级内生成反向补偿信号,驱动执行器施加相位相反的抵消力,从而实现从0.7Hz到1kHz的全频段卓越隔振性能。与传统的被动空气阻尼方案相比,TS-150不存在低频共振放大的固有问题,性能远优于同类产品。其超薄紧凑的机身设计(高度仅78.5mm)、轻量化自重(仅17.5kg)以及最大150kg的强大负载能力,使其能够灵活适配透射电镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、高精度天平等各种桌面型精密仪器,是提升测量精度与实验重复性的理想选择。
为什么您的精密仪器需要主动式隔振?
实验室环境中充斥着各类微振动——楼板共振、空调压缩机运行、人员走动、车辆经过等,这些低频振动(通常0.5-20Hz)是影响精密仪器测量精度的隐形杀手。传统的被动空气隔振台在低频段存在固有共振峰,不仅无法有效衰减,反而可能放大振动幅值。而HERZ TS-150采用的主动控制技术,从根本上消除了低频共振问题,在0.7Hz即开始提供有效隔离,10Hz以上衰减超过40dB(透射率<0.01),为您的精密测量保驾护航。
HERZ TS-150核心优势一览:
超低频起始隔振 | 6自由度全模式控制 |
负载无关自动调平 | 智能状态显示 |
超薄紧凑设计 | 遥控切换便捷 |
HERZ TS-150主动隔振工作原理:
HERZ TS-150采用主动反馈控制与前馈补偿相结合的双重隔振策略。系统内置高灵敏度加速度传感器,实时监测来自地基的多方向振动信号,并将数据传输至高速数字控制器。控制器通过专有算法分析振动波形,瞬时计算出所需的反向补偿力,驱动电磁执行器产生与振动相位精确相反的抵消力,实现振动的动态实时抵消。同时,系统持续监测地基振动进行自适应前馈调节,确保在不同环境下始终保持最佳隔振效果。在1kHz以上的高频段,系统转入被动隔振模式,利用台面阻尼铝夹层结构吸收高频振动能量,从而真正实现全频段无死角隔振覆盖。
技术亮点深度解析:
l 零低频共振设计:TS-150系统具有固有高刚度特性,从根本上消除了传统被动空气隔振台在1-3Hz频段的共振放大问题,确保低频段同样具备优异的振动衰减能力。
l 卓越的方向稳定性:得益于主动控制的刚度保持特性,TS-150在承载重物或受到侧向力时仍能维持顶板的位置精度,不会像空气弹簧那样产生明显的姿态偏移。
l 智能负载适应:精密的负载无关自动高度调节机制,即使在负载大幅变化(如更换样品、增减附件)后,仍能自动将顶板精确恢复至标称工作高度,确保仪器光路或测量基准的连续性。
l 阻尼铝夹层台面:台面采用特殊阻尼铝夹层结构,兼具轻量化与高阻尼特性,可有效抑制台面自身的高频共振,同时可选配M6螺纹孔阵(25mm间距),方便固定各类仪器。
l 诊断监测功能:提供多路复用监测信号输出,可通过示波器直观对比有/无隔振状态下的振动水平,便于用户评估隔振效果及环境振动状况。
用户友好、操作便捷的优势源于创新的结构设计:
l TS-150整机高度仅78.5毫米,可轻松置于标准实验台或光学平台之上,无需改造现有设施
l TS-150自重仅17.5千克,单人即可完成搬运和部署,极大降低安装门槛
l 台面尺寸400×450mm,提供充裕的工作面积,适配绝大多数桌面型精密仪器
l 低功耗设计,正常工作时功耗仅10W,节能环保,可长时间持续运行
HERZ TS-150典型行业应用:
TS-150凭借其卓越的隔振性能和灵活的结构设计,已广泛应用于全球众多高端实验室和精密制造产线,涵盖以下典型场景:
SPM(扫描探针显微镜) | AFM(原子力显微镜) | 台阶仪/轮廓仪 | 激光干涉仪 |
桌面型SEM(扫描电镜) | 激光共聚焦显微镜 | 表面粗糙度仪 | 小型硬度计 |
电子天平/微量天平 | 硬盘制造/检测装置 | 微操作/微装配机器人 | 光学对准/耦合系统 |
纳米压痕仪 | 半导体检测设备 | 精密加工设备 | 更多精密装置... |
以上仅列举部分典型应用,TS-150适用于任何对振动敏感的桌面型精密仪器。如需确认您的设备兼容性,欢迎联系我们的技术团队。
HERZ TS-150详细技术参数:
参数项目 | 规格详情 |
隔振频率范围 | 0.7 - 1000 Hz(主动隔振);1kHz以上被动隔振 |
负载范围 | 0 - 150 kg |
外形尺寸 | 400 x 450 x 78.5 mm(宽×深×高) |
自重 | 17.5 kg |
隔振性能(透射率) | 10Hz以上透射率<0.01(-40dB),详见特性曲线 |
校正力 | 垂直方向 ±8 N,水平方向 ±4 N |
静态顺应性 | 垂直方向约12 µm/N,水平方向约30-40 µm/N |
控制自由度 | 6自由度(3平移 + 3旋转)全模式主动控制 |
台面材质 | 阻尼铝夹层结构(可选配M6螺纹孔阵,25mm间距) |
安全等级 | 1级 |
功耗 | 正常工作最大10W,负载调节期间最大20W |
输入电压 | 115-230V AC ±10%,50-60Hz(全球通用电压) |
过载保护 | 负载过重或严重失衡时前面板自动提示警告 |
前面板显示 | 高度调节状态、隔离开关状态、过载提示、运输锁定、技术服务热线 |
监测信号输出 | 多路复用信号,可通过示波器显示有/无隔离状态下的振动水平(诊断用) |
HERZ TS-150产品效果图:

HERZ TS-150 桌上型主动式隔振台实物展示 · 超薄机身 · 简约大气
选择HERZ TS-150,您将获得:
测量精度显著提升 —— 消除环境微振动干扰,充分发挥精密仪器的性能极限
实验重复性大幅改善 —— 稳定的力学环境确保每次测量在相同基准下进行
图像质量质的飞跃 —— 对于SEM、AFM等成像设备,消除振动模糊,获得清晰锐利的图像
即装即用,无需改造 —— 超薄设计直接放置于现有实验台,插电即用,零基建投入
长期稳定可靠 —— 源自日本马自达集团的精密制造工艺,久经全球顶尖实验室验证
常见问题快速解答:
Q:TS-150与传统的空气隔振台有什么区别?
A:传统空气隔振台在低频段(通常1-3Hz)存在固有共振峰,会放大而非衰减振动。TS-150采用主动控制技术,从0.7Hz即开始有效隔振,且不存在低频共振问题,性能远超被动方案。
Q:我的仪器重量只有20kg,TS-150能适配吗?
A:完全可以。TS-150支持0-150kg的宽范围负载,轻载和重载均能保持优异的隔振性能。系统会自动检测负载并调节至最佳工作状态。
Q:安装和操作复杂吗?
A:非常简单。TS-150开箱即用,放置在实验台上接通电源即可开始工作。前面板提供清晰的状态显示,遥控器可便捷切换隔振开关,无需专业培训即可操作。
Q:台面可以定制螺纹孔布局吗?
A:可以。标准配置可选25mm间距M6螺纹孔阵,也可根据您的仪器固定需求定制孔位规格,请在下单时与我们确认。
HERZ · 日本马自达集团旗下品牌 | 精密仪器隔振解决方案全球供应商
频率 | 0.7-1000Hz |
负载范围 | 0-150kg |
尺寸 | 400 x 450 x 78.5mm |
隔离: | 动态0.7Hz至1kHz,1kHz以上为被动隔离 |
透射率: | 参见附图曲线 10Hz以上透射率<0.01(-40dB) |
校正力: | 垂直方向±8N,水平方向±4 N |
静态顺应性: | 垂直方向约12 µm/N,水平方向约30-40 µm/N |
最大负载: | 150 kg |
尺寸: | 400 x 450 x 78.2 mm |
重量: | 17.5 kg |
电气 | |
安全等级: | 1级 |
功耗: | 最大10W 负载调节期间20W |
输入电压: | 115-230V交流电 ±10% 50-60Hz |
过载保护: | 当负载过重或严重失衡时显示屏提示 |
监测信号: | 多路复用信号通过示波器显示有/无隔离状态下的振动水平——仅用于诊断 |
前面板显示菜单:
| 显示仪器状态包括: - 高度调节 - 隔离开关状态 - 过载提示 - 运输锁定 - 技术热线 |
台面 | |
尺寸: | 400 x 450 毫米 |
材质:
| 阻尼铝夹层结构 可选配25毫米间距M6螺纹孔 或定制规格 |











