HERZ UT-1000A主动式减震系统

—— 源自日本马自达集团HERZ株式会社 · 大型电子显微镜专用主动隔振平台 ——

HERZ UT-1000A主动式减震系统产品介绍：

HERZ UT-1000A是专为电子显微镜及类似大型研究仪器量身打造的高性能主动式减震平台。该系统通过消除干扰测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜中获得更清晰、更准确的成像结果。UT-1000A采用先进的压电传感与主动补偿技术，主动隔振范围从1Hz至200Hz，搭配LFS低频增强系统后更可从0.5Hz开始提供有效隔离，200Hz以上则由被动模式持续衰减。其独特的模块化扁平设计极大地简化了安装流程——无需专用起重设备，只需将仪器调平脚升高至适当高度即可将隔振模块放置于下方，安装后基本不改变显微镜的整体轮廓。内部反馈回路可主动阻尼所有机械谐振，确保六个自由度方向的全方位振动隔离，为SEM、TEM、UHV-SPM、光刻设备等高精度仪器提供极致稳定的工作环境。

HERZ UT-1000A核心优势一览：

压电传感与主动减震原理：

UT-1000A系列采用HERZ核心的压电主动控制技术。系统内置高灵敏度压电加速度传感器，持续实时监测来自地基的六个自由度振动信号。控制器将振动信号转换为电信号后，驱动隔离模块中的压电换能器产生一个与传入振动大小相等、方向相反的精确反向力，从而动态抵消环境振动。系统特有的内部反馈回路持续监测并主动阻尼所有机械谐振，确保在整个隔振频率范围内传递率极低且无共振峰。搭配LFS低频增强系统后，隔振起始频率可下延至0.5Hz，为对超低频振动极为敏感的高端电子显微镜提供极致保护。

技术亮点与设计特色：

• l超低频隔振能力：主动隔振范围1-200Hz，搭配LFS系统从0.5Hz即开始有效隔离，优于大多数主动方案

• l压电换能驱动：利用逆压电效应产生精确反向力，响应迅捷，无机械滞后和磨损

• l6自由度全向隔离：同时覆盖三个平移和三个旋转方向的振动，无死角保护大型仪器

• l扁平模块化架构：紧凑的模块设计可直接置于仪器原有调平脚下，安装高度仅需约5英寸（约127mm）空间

• l个性化单一定制：根据每台电镜的型号、重量和底脚分布进行定制配置，确保精准匹配

• l免维护免气源：无需压缩空气和持续维护，安装后即可长期稳定运行

典型应用领域：

UT-1000A平台广泛应用于高负载显微镜和其他对低频振动噪声极为敏感的精密研究仪器，尤其适用于各类电子显微镜。

UT-1000A专为电子显微镜及同类大型精密仪器设计，可根据设备型号进行定制化配置。

实际应用案例：

UT-1000A已成功服务于全球众多顶尖实验室，以下为部分典型安装实例。

HERZ UT-1000A 支持 FEI Titan TEM

重达3500公斤的FEI Titan TEM由四个UT-1000A减震模块支撑。得益于模块化设计，安装无需专业吊装设备，仅需将仪器调平脚升高即可放置模块。安装后，原本受低频振动噪声干扰的Titan获得了显著改善的成像质量。

UT-1000A 支持 FEI QEMSCAN 650 SEM

UT-1000A平台同样适用于各种尺寸和形状的扫描电子显微镜。安装过程仅需将SEM内部调平脚升高至约5英寸（约127mm），即可将防振模块放置于下方，无需索具或吊装系统。FEI QEMSCAN 650 SEM在安装UT-1000A后，成像质量立即得到显著提升。

UT-1000A 支持 Carl Zeiss SIGMA VP SEM

Carl Zeiss扫描电子显微镜常用的减震方案即搭配UT-1000A。凭借其易于操作的内部框架设计，UT-1000A平台可在一小时内完成安装，全程无需吊装设备。上图为Carl Zeiss SIGMA VP与UT-1000A平台的配套实例。

UT-1000A 更多安装实例

UT-1000A模块化平台可适配多种品牌和型号的电子显微镜，安装过程简洁高效，无需改变实验室现有布局。

详细技术参数：

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常见问题快速解答：

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