Herz TS-140 桌面型主动式减振台
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台介绍：
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台来自日本马自达集团下全资子公司HERZ，是一款灵活易用的桌上型主动隔振台，通过针对低频振动进行准确补偿，实现全频段隔振。采用6自由度控制，自适应调节地基振动前馈，抵消多方向振动传递。显著提升精密仪器（如透射电镜、光刻机）的测量稳定性。TS-140 融合了久经考验的技术卓越性与优雅且用户友好的设计，这款中型动态隔振系统特别适用于所有需要比TS-150提供更大顶板空间的应用场景。带公制孔（M6 x 25mm）或非公制网格孔的钻孔顶板，可支持在隔振工作台上安装各类设备。
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台产品特点：
l TS-140的隔离性能从0.7Hz开始，在10Hz以上频率段迅速提升至40dB
l 由于完全避免低频共振，其性能远优于大多数常见被动空气阻尼方案
l TS系统的固有刚度赋予其卓越的方向+位置稳定性
l TS 140的优异性能覆盖全部六种平移与旋转振动模式
l 精密自动高度调节机构可在负载大幅变化后仍将顶板稳定于优化工作高度
l 远程控制装置支持外部隔离系统“开启”与“关闭”操作
用户友好、操作便捷的优势源于创新的结构设计：
l TS-140高度仅84毫米
l TS 140重量仅28.5千克
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台测量原理：
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台通过传感器实时监测外部振动信号，并将数据传输至控制器。控制器根据振动波形生成反向作用力，由执行器施加与振动相位相反的力，实现动态抵消，大幅度抑制低频振动及复杂环境干扰。结合被动隔振与主动控制技术，被动系统吸收高频振动能量，主动系统针对低频振动进行精准补偿，实现全频段隔振。采用6自由度控制，自适应调节振动前馈，抵消多方向振动传递。
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台行业应用：
SPM | AFM | 台阶仪 | 激光干涉仪 |
桌面型SEM | 激光共聚焦显微镜 | 表面粗糙度仪 | 小型硬度计 |
电子天平 | 硬盘制造装置 | 微操作机器人 | 其他精密装置 |
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台产品参数：
频率 | 0.7-1000Hz |
负载范围 | 0-140kg |
尺寸 | 500 x 600 x 84mm |
隔离： | 动态0.7Hz至1kHz，1kHz以上为被动隔离 |
透射率： | 参见附图曲线 10Hz以上透射率<0.01（-40dB） |
校正力： | 垂直方向±8N，水平方向±4 N |
静态顺应性： | 垂直方向约12 µm/N，水平方向约30-40 µm/N |
最大负载： | 140 kg |
尺寸： | 500 x 600 x 84 mm |
重量： | 28.5 kg |
电气 | |
安全等级： | 1级 |
功耗： | 最大10W 负载调节期间20W |
输入电压： | 115-230V交流电 ±10% 50-60Hz |
过载保护： | 当负载过重或严重失衡时显示屏提示 |
监测信号： | 多路复用信号通过示波器显示有/无隔离状态下的振动水平——仅用于诊断 |
前面板显示菜单：
| 显示仪器状态包括： - 高度调节 - 隔离开关状态 - 过载提示 - 运输锁定 - 技术热线 |
台面 | |
尺寸： | 500 x 600 毫米 |
材质：
| 阻尼铝夹层结构 可选配25毫米间距M6螺纹孔 或定制规格 |
HERZ TS-140桌上型主动式隔振台效果图：
频率 | 0.7-1000Hz |
负载范围 | 0-140kg |
尺寸 | 500 x 600 x 84mm |
隔离： | 动态0.7Hz至1kHz，1kHz以上为被动隔离 |
透射率： | 参见附图曲线 10Hz以上透射率<0.01（-40dB） |
校正力： | 垂直方向±8N，水平方向±4 N |
静态顺应性： | 垂直方向约12 µm/N，水平方向约30-40 µm/N |
最大负载： | 140 kg |
尺寸： | 500 x 600 x 84 mm |
重量： | 28.5 kg |
电气 | |
安全等级： | 1级 |
功耗： | 最大10W 负载调节期间20W |
输入电压： | 115-230V交流电 ±10% 50-60Hz |
过载保护： | 当负载过重或严重失衡时显示屏提示 |
监测信号： | 多路复用信号通过示波器显示有/无隔离状态下的振动水平——仅用于诊断 |
前面板显示菜单：
| 显示仪器状态包括： - 高度调节 - 隔离开关状态 - 过载提示 - 运输锁定 - 技术热线 |
台面 | |
尺寸： | 500 x 600 毫米 |
材质：
| 阻尼铝夹层结构 可选配25毫米间距M6螺纹孔 或定制规格 |
